拆解曝光機後裝不回去 中企向艾斯摩爾求助
中國某晶片企業疑試圖透過逆向工程仿製曝光機，讓技術人員私拆了一部艾斯摩爾（ASML）製造的DUV（深紫外光）曝光機，卻無法將其復原，只能向ASML求助，卻被ASML的技術團隊看出事有蹊蹺。
美國政治外交雜誌《國家利益》（The National Interest）的高級編輯、地緣政治分析師懷契特（Brandon Weichert）上週六（10月18日）在X平台發文，透露上述事件。
懷契特說，中國某企業的DUV機器最近壞了，打電話給荷蘭製造商ASML請求維修。ASML派來的技術人員到現場卻發現，是中方的人員在拆卸機器並試圖重新組裝時，把機器弄壞了。
被拆的機器是早期的DUV型號，這類設備雖不及EUV（極紫外光）曝光機先進，但仍能支持14奈米晶片的製造，甚至部分更先進製程，是中國半導體廠商依賴的重要機型。
北京將更難迴避西方制裁
懷契特分析，中企的技術人員之所以拆卸舊款DUV曝光機，是因為他們試圖對現有設備進行逆向工程，以期找到自主研發更先進版本的方案，但是顯然他們沒能成功，而這或許讓他們逃避西方制裁的計畫都泡湯了。
他寫道：「我不知道ASML是否真的完成了維修工作。雖然中國與這家荷蘭公司簽訂了維修協議，但考慮到中國客戶的不當行為導致機器故障，我不認為這份合約會得到履行。」
「北京正變得越來越絕望」，懷契特接著寫道，「事實上，我們知道他們的經濟正在放緩，自新冠疫情以來，（中共黨魁）習近平的統治一直很脆弱。」
曝光機零件或被自動鎖死
微信公眾號「極道」週一（10月20日）發文進一步透露，當ASML的技術人員到達現場後發現，機器內部多個關鍵模組錯位、鏡片劃傷、真空腔體密封失效，甚至部分感應器被錯誤接線燒毀。他們判斷，這不是普通的機器故障，很可能是中方人員拆解不當造成的損壞。
文中介紹，ASML曝光機的結構極其複雜，內部包含上千個高精度光學、流體與控制模組，很多零件甚至由多國聯合製造，設計嚴密且不可逆，機器內部很多關鍵部件甚至被封裝成黑盒。一般的技術人員如果強行拆解，這些部件就會自動鎖死。◇
