台積廢物利用獲進展 估年創4億效益

台積電積極發展循環經濟，已導入氫氟酸廢液合成冰晶石系統，並在中科晶圓15B廠啟用，並預計在2023年導入到其他先進製程廠區，估計每年可創造四億台幣的效益。另外，台積電在同日透露技術突破進度，指出異質整合技術已進入系統微縮階段。

氫氟酸廢液是由晶圓加工與清洗製程產生的廢料，台積電進行循環利用，據媒體報導，自2018年起，台積電已與廠商合作，積極找出氫氟酸廢液循環利用的解方，如今收到成果。

台積電9月在晶圓15B廠正式啟用首座氫氟酸廢液合成冰晶石系統，台積電說，至11月，已減少氫氟酸廢液委外處理量達500噸，產出冰晶石150噸。

他們說，在2023年擴大導入至先進製程晶圓廠區，目標每年減少委外處理量4.6萬噸，產出冰晶石1.2萬噸，創造逾4億元效益。

台積電說，冰晶石主要用於鋁工業做為助熔劑，可於電解煉鋁過程中節省逾25%能耗。以氫氟酸廢液做為冰晶石製程原料，與廠商合作研發出可生成冰晶石的反應藥劑，在地研發也提升國內循環經濟產業的再生技術。

另外，SEMI國際半導體產業協會在30日中午在臉書舉行異質整合未來趨勢座談直播。台積電卓越院士兼研發副總經理余振華在會上表示，台積電發展異質整合到商業化階段開花結果，率先從系統整合進入系統微縮（system scaling）階段。

余振華說，台積電著重晶片之間連結密度加強、封裝尺寸大小兩大方向，而異質整合是新的領域，要面對成本控制、精準製程控制等挑戰，如：機台的生產率、材料的成本控制等，希望跟上下游供應鏈合作解決。

台積電持續有擴廠與研發計畫，他們在同日公告，再發行公司債。公告指出，2021年度第7期無擔保普通公司債發行總額為新台幣167億元整，依發行期限之不同分為甲類、乙類及丙類3種。募得價款之用途及運用計畫是新建擴建廠房設備。