ASML在臺推進2奈米 研發補助最快5月拍板

半導體設備大廠艾司摩爾（ASML）持續擴大對臺投資，近期針對2奈米晶圓光學量測設備的研發製造，向經濟部申請A+企業研發補助案。對此，經濟部表示，審查重點包含如何協助供應鏈技術升級及國產自製率等兩面向，最快會在5月定案。

新北市長侯友宜曾透露，艾司摩爾增加在臺投資，第一期投資金額高達新臺幣300億元，預計落腳林口、約2千名員工進駐；針對2奈米晶圓光學量測設備，艾司摩爾去年也向經濟部申請研發補助計畫，一旦審查通過，預計政府會有低於五成的補助。

經濟部指出，臺廠供應鏈目前已具備深紫外光（DUV）設備中的光罩傳輸模組製造能力，這次艾司摩爾計畫案包含晶圓傳輸模組，盼能藉此導入本土供應鏈。

經濟部表示，受惠艾司摩爾DUV光罩傳輸模組搬來臺灣製造，成為全球唯一製造基地，帶動臺廠帆宣、公準及神詠等供應鏈廠商成長。因此，這次審查聚焦重點，將落在如何提升本土技術與國產自製率。

經濟部「A+企業創新研發淬鍊計畫」補助企業投入創新研發、前瞻產業技術開發，每年預算約新臺幣20億元，計畫吸引國際大廠來臺研發生產；由於艾司摩爾申請案將進入第二階段審查，經濟部預估在5月召開決審會議拍板，屆時補助金額將明朗化。◇