創新化學濾網應用 台積電：減廢效益達16億元

隨著半導體先進製程不斷演變，氣態分子污染物（AMC）控制技術與晶圓良率的提升，已經密不可分。台積電改良的濾網結構，截至今年6月，共減少濾網廢棄物3,251公噸、碳排放量12,028公噸，相當於31座大安森林公園二氧化碳的年吸附量，成功創造逾新臺幣16億元的減廢總效益。

由於AMC控制技術也成為提升晶圓良率的關鍵，台積電觀察廠區使用情況發現，化學濾網對於酸性氣體、鹼性氣體、有機物3種物質的吸附能力不同，所以廠務處、資材供應鏈管理處與供應商合作，研發長效型化學濾網，透過調整濾網吸附有機物的濾料比例，將可使化學濾網壽命翻倍，並從2018年開始大量使用。

AMC為環境中沉降在晶圓表面形成單分子層薄膜的氣態化學汙染物質，因為半導體製程線寬隨著技術進步日益縮小，並且對無塵室生產環境的潔淨程度，要求變得相當嚴格，也造成濾網用量的提高。

為最大化濾網使用效率，台積電在2019年便全面改採拆解式化學濾網，藉由改良濾網吸附效能與結構，已有效減少逾七成的濾網廢棄物。

台積電去年再次攜手供應商以優化濾網結構，利用物理方式恢復其初始吸附效能，讓濾網得以重複使用，今年3月已完成驗證，預估在明年將會陸續導入臺灣廠區的所有晶圓廠，有望未來每年再下降兩成濾網廢棄物，總計減廢高達九成之多。

同時，台積電也對外氣空調箱所使用的濾網進行結構改良，透過降低壓損、提升其過濾與節能效果，預計明年導入之後，每年節電可望至3,500萬度，以持續向節能減碳、循環再生的永續目標前進。

傳高雄設廠 台積：不排除任何可能

台積電7奈米廠將於何處落腳，成為擁有科學園區的新竹、臺中及高雄等城市的熱門話題。據報導，近期高雄市政府已與台積電當面洽談，除了對台積電設廠規格進行充分了解，也規劃將以楠梓中油高雄煉油舊址，來爭取台積電設廠。

對此，台積電並未正面回應，但仍會維持以往的擴廠節奏，持續和管理局共同評估在新竹、臺中及高雄等適宜半導體建廠的用地，並不排除任何可能性。他們強調，若有後續進展一切以對外公告為主。