南科部分廠傳氣體汙染 台積電:未影響營運
外傳台積電南科的晶圓18廠區疑似因氧氣供應受到汙染,導致產線29日晚間作業停擺,對此,台積電30日回應,為確保生產品質無虞,現階段正進行相關後續作業。台積電強調,此次氣體疑似遭受汙染,已及時調度其他氣體供應,目前對於營運並無任何顯著影響,有待未來持續追蹤。◇
外傳台積電南科的晶圓18廠區疑似因氧氣供應受到汙染,導致產線29日晚間作業停擺,對此,台積電30日回應,為確保生產品質無虞,現階段正進行相關後續作業。台積電強調,此次氣體疑似遭受汙染,已及時調度其他氣體供應,目前對於營運並無任何顯著影響,有待未來持續追蹤。◇