清大率團開發雷射低碳技術 接洽龍頭半導體廠

為協助強化台灣半導體製程、提升產品加工效率，國科會4日表示，清大在國科會支持下，率團開發出「雷射低碳製造技術」，可利用AR裝置進行遠端操作，大幅減少如半導體、矽光子（CPO）產品工序與成本，目前已與半導體龍頭廠接洽。

國科會指出，研究團隊包括清華大學、台灣大學及國家儀器科技研究中心等單位，成功開發出適用於「金屬薄膜」及「透明導電薄膜」圖樣化鍍膜的專利技術。

這項技術能透過耦合雷射與高活性的離子反應流體，將一道製程工序於三維自由曲面基板上，選擇性地形成圖樣化鍍膜，可製作精細多樣的金屬及光電材料線路。

清大教授李明蒼表示，此專利的雷射鍍膜技術技術，是運用工程物理力學分析技術與AI技術， 於製程中即時分析辨識關鍵的複雜訊號，讓製造系統能臨機應變，即時調控製程參數。

李明蒼說，「雷射低碳製造技術」是希望達成「零失誤」的精準製造，未來也會努力發展在醫療的達文西手術，或貼於皮膚上的AR裝置。

針對該技術是否能應用於台積電等半導體製程？對此，李明蒼回應，已有國內龍頭半導體廠看中技術能在不需真空環境下的低碳化製程，有助於加強機台的精準度，目前有向團隊進行接洽。

國科會工程技術研究發展處處長洪樂文指出，半導體、光學、電子相關產業鏈已成為台灣護國群山，因此台灣製程的研發創新相當重要。這項雷射技術可應用在三維電子半導體元件、軟性光電半導體元件及矽光子（CPO）元件等極具未來市場價值的產品製造，例如透明顯示裝置、溫控光學鏡片及精準健康醫療用的個人化穿戴式裝置。