民營首例 台積南科再生水廠下月試產

台積電南科再生水廠預估在3月完成主體建築，使用全物理壓濾的晶背研磨廢水再生技術，致力產出優於進水品質要求的再生水，是全球首家導入工業再生水的先進晶圓廠。

台積電積極承諾，將使用工業廢水、民生汙水的再生水，來達到持續降低自來水用量的目標，台積電104年開始發展再生水技術，並在105年打造全國第一條半導體工業再生水試產線，用來回收處理工業的放流水。

台積電109年啟動的南科再生水廠建廠工程，是臺灣第一座的民營再生水廠，預估在110年3月將完成主體建築，將持續調校安裝系統、啟動試產，致力產出優於進水品質要求的再生水。

台積電使用全物理壓濾的晶背研磨廢水再生技術，取代了添加化學藥劑的混凝沉降法，可以有效處理半導體封裝製程大宗廢水晶背研磨廢水，以節省化學藥劑用量。此外，產製品也將由原本的無機性汙泥，轉化成為有價值的高純度工業級矽產品。

台積電指出，晶背研磨廢水資源化系統在109年7月於先進封測三廠正式啟動，截至110年1月，共計回收超過1.5萬公噸晶背研磨廢水，並成功產製30公噸工業級矽產品。

台積電也預估在111年會擴大導入正在興建中的先進封測二廠第二期、先進封測6廠，朝資源永續利用的方向邁進。