三星搶買光刻機 盼趕超台積電
韓國三星的半導體先進製程的推進狀況，仍落後於台積電，但仍積極尋求在3奈米製程追上。據韓國媒體報導，荷蘭半導體設備製造商艾司摩爾（ASML）近日拜訪三星半導體工廠，雙方洽談EUV設備的採購，與開發新一代機台的合作計畫。報導也稱，三星如果可以搶先台積電先取得下一代EUV機台，會是他們取得技術領先的關鍵。
臺灣晶圓代工龍頭台積電掌握先進製程，5奈米製程進入量產，並持續推進3奈米製程，預計2023年量產。韓國三星希望在3奈米製程追上台積電，也預計在2023進入量產階段。
半導體先進製程之所以能推進，荷蘭半導體設備製造商艾司摩爾（ASML）所打造的極紫外光曝光機（EUV）功不可沒。台積電目前已有35台EUV，如今為加速推動3奈米，外傳明年採購總量超過50台，幾乎掌握全球一半的EUV機台。
據了解，目前三星EUV設備採購量不到20台，而三星正積極補足EUV設備。據韓國媒體《Business Korea》在1日的報導，有業內人士透露，三星電子已要求ASML提供更多EUV設備。
報導指出，ASML總裁兼執行長Peter Wennink等ASML高階主管在上週參訪三星的半導體工廠，並與三星半導體事業部主席金基南（Kim Ki-nam）會面。據了解，針對開發下1代EUV設備，兩公司討論合作事項。
報導引述三星高管的消息，兩公司在會上並沒有做出具體的投資決定。ASML高管之所以訪問三星電子，是為了回應三星副董事長李在鎔，在10月時訪問ASML總部。
不過，報導也指出，ASML是全球唯一能製造EUV設備的製造商，目前他們供應台灣台積電的EUV設備量，比供應三星的還多。而三星為了加快先進製程，需要更多EUV設備，這有助於他們擴大全球晶圓代工市場的市佔率。
報導並稱，三星電子希望與ASML建立技術聯盟，以確保三星能擴大下1代EUV設備的供應；而ASML方面，則因為開發新一代的EUV設備，因此需要大量資金投資，而這可能是雙方合作的契機。
報導指出，三星也希望能投資新一代的EUV設備的開發，搶在台積電之前，先從ASML獲得該設備，以取得技術領先地位。
據規劃，ASML在2023年中期，推出新一代的High-NA EUV設備原型，預計每台5000億韓圜（約新台幣139億元），價格是當前EUV設備價格的2到3倍。
據ASML財報，2019年時，ASML的EUV微影系統出貨量達 26 台，較 2018 年增加8台，使得去年的營收達118億歐元，年增率 8%；其中來自台灣的營收達 53 億歐元，占比 45.3%，遠高於韓國的 18.6%、美國的 16.7% 及中國的 11.6%。
