長庚大學發現石墨烯新應用 國際期刊備受認可

石墨烯的優異材料性質，近年來在各領域獲高度關注，長庚大學可靠度科學技術研究中心陳始明主任發現，金屬夾帶石墨烯的結構，可廣泛應用在電化學、電鍍、印刷電路板互連、IC互連製造等，並且在實驗過程中，找到簡單、省錢又環保的製造方法，研究成果今年7月在國際知名期刊《先進材料介面》(Advanced Materials Interfaces)封面內頁，備受認可。

長庚大學可靠度科學技術研究中心陳始明主任開發石墨烯新應用。（長庚大學提供）

陳始明表示，原本他在研究時，曾為了石墨烯是否會受到IC製程中電解質溶液的侵襲而苦惱，後來於實驗過程中發現，石墨烯在硫酸銅溶液中不僅沒被腐蝕，反而直接「鍍」上了銅，完全不需採用複雜、易有污染的電鍍程序，於是，他和他的團隊研究了潛在的機制，並發現了其科學依據，順利完成後續研究。

陳始明主任團隊製作的成品於顯微鏡下呈現的影像。（長庚大學提供）

「石墨烯」有許多獨特的性能，像是導電性、散熱性、透光性及優良的機械性等等。陳主任為了讓IC電路電子元件的互連性更佳，他嘗試用「銅─石墨烯─銅」的結構，取代目前僅以「銅」為材料傳導，希望追求更佳的經濟效益，果然發現石墨烯良好的電學和熱學特性，以及與半導體製程的相容性，具取代目前積體電路互連的巨大潛力。

陳始明的研究為「金屬─石墨烯─金屬」(MGM)結構找到簡單、環保並具成本效益的製造方法，除了獲國際期刊肯定，也爭取到科技部計劃補助。他表示，這可全面應用在IC製程上，已準備要將其薄化、工程化並申請專利推廣。

陳始明主任是國際知名的可靠度專家，長庚大學成立亞洲第一個專門研究產品可靠度技術的學術單位。除了規劃可靠度工程學程供大學部及研究所學生修習，還打造了專業實驗室，推出產業服務平台，提供第三方可靠性評估，為中小企業提供可靠度試驗和分析服務。◇