長庚大學發現石墨烯新應用 國際期刊備受認可

圖右為陳始明主任團隊所成功製出「銅─石墨烯─銅」三層結構,適合運用於IC製成。圖左為現有「銅─石墨烯」二層結構的材料。(長庚大學提供)
圖右為陳始明主任團隊所成功製出「銅─石墨烯─銅」三層結構,適合運用於IC製成。圖左為現有「銅─石墨烯」二層結構的材料。(長庚大學提供)

【記者徐乃義/桃園報導】

石墨烯的優異材料性質,近年來在各領域獲高度關注,長庚大學可靠度科學技術研究中心陳始明主任發現,金屬夾帶石墨烯的結構,可廣泛應用在電化學、電鍍、印刷電路板互連、IC互連製造等,並且在實驗過程中,找到簡單、省錢又環保的製造方法,研究成果今年7月在國際知名期刊《先進材料介面》(Advanced Materials Interfaces)封面內頁,備受認可。

長庚大學可靠度科學技術研究中心陳始明主任開發石墨烯新應用。長庚大學可靠度科學技術研究中心陳始明主任開發石墨烯新應用。(長庚大學提供)

陳始明表示,原本他在研究時,曾為了石墨烯是否會受到IC製程中電解質溶液的侵襲而苦惱,後來於實驗過程中發現,石墨烯在硫酸銅溶液中不僅沒被腐蝕,反而直接「鍍」上了銅,完全不需採用複雜、易有污染的電鍍程序,於是,他和他的團隊研究了潛在的機制,並發現了其科學依據,順利完成後續研究。

陳始明主任團隊製作的成品於顯微鏡下呈現的影像。陳始明主任團隊製作的成品於顯微鏡下呈現的影像。(長庚大學提供)

「石墨烯」有許多獨特的性能,像是導電性、散熱性、透光性及優良的機械性等等。陳主任為了讓IC電路電子元件的互連性更佳,他嘗試用「銅─石墨烯─銅」的結構,取代目前僅以「銅」為材料傳導,希望追求更佳的經濟效益,果然發現石墨烯良好的電學和熱學特性,以及與半導體製程的相容性,具取代目前積體電路互連的巨大潛力。

陳始明的研究為「金屬─石墨烯─金屬」(MGM)結構找到簡單、環保並具成本效益的製造方法,除了獲國際期刊肯定,也爭取到科技部計劃補助。他表示,這可全面應用在IC製程上,已準備要將其薄化、工程化並申請專利推廣。

陳始明主任是國際知名的可靠度專家,長庚大學成立亞洲第一個專門研究產品可靠度技術的學術單位。除了規劃可靠度工程學程供大學部及研究所學生修習,還打造了專業實驗室,推出產業服務平台,提供第三方可靠性評估,為中小企業提供可靠度試驗和分析服務。◇

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