國研院開發設備 篩選晶圓創商機

隨著消費性電子產品的需求快速增長，對於IC精密檢測的需求也不斷提高，推動了自動化檢測設備市場的發展。國家實驗研究院儀器科技研究中心透過「光學系統整合研發聯盟」平台，結合巨積精密技術有限公司與台灣師範大學機電工程系教授張天立研究團隊，共同研發「晶圓電性測試暨電路瑕疵檢測設備」，可協助國內廠商於半導體後段製程中，快速、精準地判斷、篩選晶圓良窳。

儀科中心開發的「晶圓電性測試暨電路瑕疵檢測設備」搭載巨積開發的「XYθ對位平台」，該平台具有高速、高剛性、高精度、可控制360度旋轉角等特性，再由師大團隊開發人機介面，快速、精準操控晶圓位置，並結合機械視覺與影像處理技術，快速判斷晶圓電路缺陷。藉由開發高速精確之晶圓電性和電路瑕疵檢測客製化與自動化設備，可大幅縮短檢測時間，進而提升晶圓的產能和良率。

國研院說，目前我國自動化檢測儀器以進口國外品牌為主，價格昂貴，設備維護、更新不易，影響相關產業的技術自主性。儀科中心透過「光學系統整合研發聯盟」統整產學界能量，架構學界研發成果擴散平台，協助國內廠商自主開發儀器設備，提升我國產業全球競爭力。◇