台積電把工業再生水導入製程 全球半導體業創舉

台積電促建的國內第一座民營再生水廠「台積電南科再生水廠」將於19日正式通水，將成為全球首度將工業再生水用於半導體生產，據媒體報導，台積電將持續與政府推動再生水計畫，台灣廠區2030年再生水替代率預計達到60%的目標。

據媒體報導，台積電南科再生水廠是由中鼎興建營運，是國內第一座民營再生水廠，有別於政府的再生水廠是民生污水的再生水廠，這座再生水廠是工業廢水再生水廠。據業者表示，這是全球首度將工業再生水用於半導體生產。

業者指出，工業廢水再生的技術及品質控管難度高。台積電自2015年即開始發展再生水技術，2016年打造半導體工業再生水試產線，回收處理工業放流水。

台積電南科再生水廠原先計劃2021年開始供水，因政府再生水輸水工程延遲，且從小型試產線，推進到大型的再生水廠並不容易，再生水廠試車就長達半年時間，直到3個月出水水質穩定，才決定於19日舉辦通水典禮。

台積電南科再生水廠預計2023年供水量將增至每天2萬公噸。此外，台南永康及安平再生水廠供水量也將逐步擴增，至2024年，台積電南科廠區每天總計將使用6.7萬公噸的再生水。

另外，台積電將持續積極與政府合作推動再生水計畫，不排除推動在竹科與中科建置再生水廠，2030年台灣廠區再生水替代率預計達到60%的目標。