電設備故障致竹科壓降 力積電將列入電力品質輔導對象
新竹科學園區1日下午3點18分發生大規模電力壓降事故,連帶衝擊竹科廠商包括台積電、聯電、世界先進等晶圓廠生產線,部份機臺因此跳電停產,使生產中的晶圓報廢,各晶圓廠在1日及2日陸續恢復產能。竹科管理局局長王永壯2日指出,力積電變電器故障造成園區瞬間壓降,未來將列入電力品質輔導對象。
由於竹科內特高壓用戶力積電廠區的主變壓器跳脫故障,造成竹科1日下午3時18分發生C級壓降事件,出現不到0.1秒的瞬間壓降,進而影響部分敏感機臺,園區廠商多表示並未造成太大影響。
王永壯表示,竹科1日壓降主要是有廠商變電器故障,變電器接的是161kv,電壓較高故影響範圍較大,導致其他周邊工業區也受到影響。
王永壯強調,這次事件為壓降、並非斷電,1年會發生幾次壓降,原因跟用電量無關,屬於單一事件,一旦事故發生後,都會針對事故原因提出檢討報告,同時與台電、廠商研討未來如何一起防範,以避免再次發生。
針對電力品質,王永壯說,竹科每年都會針對廠商做輔導與檢查,包括供電系統等,今年也會把這次事件設備故障廠商,列為電力品質特別輔導對象。他說,壓降並不會有受損,但敏感機器可能會停機,需要重新復機才能運作,台電、園區廠商、管理局都會檢討精進,以穩定供電品質。
台積電表示,竹科部分廠區確實受到電力壓降影響,歷時約50至100多毫秒不等,廠內同仁無安全疑慮,1日營運已恢復正常;世界先進指出,廠區有部分機臺遭受壓降衝擊,已按標準作業程序進行檢查與復原,對於公司生產影響則在評估當中。
此外,竹科半導體廠透露,不是每一臺設備都有不斷電系統保護,因為不斷電系統設備不僅昂貴,平常也需要花很高的成本養護,而購買原因就是考量台電供電品質才會投資;廠商指出,因為各晶圓廠產能滿載,這次短暫壓降影響比預期大,部分生產中晶圓需要重新測試。