供台積電需求！傳日本信越將首度在臺產EUV光阻劑

由於晶圓代工龍頭台積電先進製程不斷往前推進，為滿足其需求，日媒指出，日本信越化學（Shin-Etsu Chemical）將斥資300億日圓（約新臺幣81.89億元)，把半導體廠重要材料「光阻劑」的產能提高20%，而且將首度在臺灣生產，以擴大供應高階晶片的關鍵材料。

《日經亞洲評論》週四（10月15日）報導，信越化學將在日本與臺灣興建新的工廠，投資生產光阻劑的新設備。這種材料用於在矽晶圓上形成電路圖案。

報導指出，信越化學位於臺灣雲林工廠預計將於2021年2月開始量產，到時候信越得以在臺灣生產可與極紫外線（EUV）光刻技術兼容的光阻液，此前這種材料只在日本生產。信越化學希望，如此便可以滿足台積電等蘋果供應鏈的需求。

臺灣規畫產能將增加50%；日本方面，信越新潟縣的直江廠預計2022年2月開始量產，增加產能20%，同時也會增聘新員工。

報導指出，信越化學也將為韓國、中國與其他市場的客戶提高產量。

其他日本光阻劑大廠，包括JSR與東京應化工業公司，也同時在日本與海外生產EUV光阻劑，而住友化學和富士軟片（Fujifilm）也準備進入這一領域。

光阻劑是半導體供應鏈關鍵材料，日本業者合計市占高達約80%，光是信越化學的市占就達20%至30%。根據研調機構富士經濟（Fuji Keizai）預測，光阻劑市場在2019年至2024年將成長60%至2,500億日圓。