整合半導體產業 臺德打造雷射服務中心
工研院與臺灣機械工業同業公會、德國創浦集團（TRUMPF）共同成立「臺灣半導體與電子產業先進雷射應用服務中心」，2日舉行合作意向書簽約儀式（MOU）。經濟部長王美花表示，創浦帶來先進技術、機械公會帶來客戶，工研院有系統整合的能力，將帶起整體產業技術服務能量，強化臺南雷射聚落的發展，並為臺灣雷射設備產業發展帶來新契機。
「台灣半導體與電子產業先進雷射應用服務中心」由機械公會理事長柯拔希、台灣創浦總經理鄭勇志及工研院協理吳誠文代表簽訂MOU，王美花與德國經濟辦事處長林百科（Axel Limberg）出席見證。
王美花指出，這個合作案對臺灣產業有三大意義，首先，德國創浦集團是艾司摩爾（ASML）EUV（極紫外光）設備雷射源的供應夥伴，在雷射源及工具機的產值皆為全球前三，創浦的加入可說為臺灣產業帶來一個非常大的盟友。
其次，創浦、機械公會與工研院，將帶起整體產業技術服務能量，強化臺南雷射聚落的發展，並為臺灣雷射設備產業發展帶來新契機。此外，雷射源影響半導體後段封裝製程中晶圓切割品質，但高階雷射源設備成本高，廠商負擔大，且需要國外原廠配合測試開發，往往因與國外廠商一來一往當中喪失商機。現在這個中心可以讓有需要導入高階雷射源的業者縮短距離打樣測試。
機械公會理事長柯拔希表示，受新冠肺炎（中共肺炎）疫情影響，臺灣機械業1至7月出口值144.8億美元，較2019年同期減少10%。但檢量測設備、電子設備分別較2019年同期成長5.1%與2.5%，顯示臺灣在半導體電子產業與相關設備仍具全球競爭力。而雷射技術可應用於量測、檢測、切割、焊接和各式精微加工應用等，對臺灣機械產業長遠發展非常重要。
創浦集團願意提供價值5000萬元的「雷射源」讓台灣設備商使用。台灣創浦總經理鄭勇志說，創浦集團除與ASML共同合作開發EUV光刻機外，自行研發製造超快飛秒fs/皮秒ps先進雷射源技術，也是當前半導體奈米製程競賽中不可或缺的設備。創浦集團繼今年在南科與合作夥伴共同成立技術培訓中心，又參與臺灣半導體設備產業的合作，將持續為高科技業導入最新雷射技術。
工研院協理吳誠文表示，過去國際大廠來臺投資偏向於設在北部，此次規畫的「臺灣半導體與電子產業先進雷射應用服務中心」將進駐工研院六甲院區，希望拋磚引玉帶動更多高科技研發中心在南臺灣設立據點。
